日期:2012-06-21 18:11
概率P值(ProbF)来判断,当P值小于0.05时,其相应的项对响应值的影响为显著,否则为不显著。由表3可知,镍沉积速率的回归模型是显著的(P0.000 10.050 0),失拟项是不显著的(P=0.055 80.050 0),回归模型的决定系数(R2)高达0.967 2,说明模型的精确度较高,可用于预测不同工艺条件下的镍沉积速率。
3.2响应面分析
图1反映了以镍沉积速率为响应值时,各两两因素交互作用对响应值的影响。由图1可见,各两两因素交互作用对响应值的影响均呈椭圆形状。根据长轴边指向的因素对响应值的影响大于短轴边指向的因素,可知各因素对响应