日期:2012-06-21 18:29
，从而阻碍铜离子的增长;同时，由于无可用的铜离子，氢气泡便占据金属粒子的位置，形成多孔结构9-11]。镀液中不含CTAB时，沉积层的三维多孔结构平行排列在基片上，该结果与文献[12]相符。从图lb还可看出，孔壁是由大量纳米颗粒组成，且孔壁也是多孔的，这是由于氨原子的剧烈形成过程不仅发生在基片上，在铜的枝晶上也有。
3.2沉积时间对孔径大小及孔径结构的影响
图2为镀液中CTAB的质量浓度为3.25g/L时，由沉积不同时间所得名孔铜薄膜的SEM图。
随沉积时间的延长，镀层厚度增大，沉积层的主孔径增大，孔壁变厚。气泡模板的