日期:2012-06-26 15:45
膜设备中包括蒸发器和全部为其工作所需要的装置(例如电能供给、供料和冷却装置等)在内的部件。
6.3.3蒸发器evaporator：蒸发直接在其内进行蒸发的装置,例如小舟形蒸发器,坩埚,灯丝,加热板,加热棒,螺旋线圈等等,必要时还包括蒸发材料本身。
6.3.4直接加热式蒸发器evaporator by direct heat：蒸发材料本身被加热的蒸发器。
6.3.5间接加热式蒸发器evaporator by indirect heat：蒸发材料通过热传导或热辐射被加热的蒸发器。
6.3.6蒸发场evaporation field：由数个排列的蒸发器加热相同蒸发材料形成的场。
6.3.7溅射