退火处理对钛酸钡微弧氧化铁电薄膜物相的影响
日期:2012-07-03 16:10

  4结论
  (1)交流电源微弧氧化所得BaTi03薄膜表面凹凸不平,且不均匀地分布着大量孑L洞,薄膜主要由六方相BaTi03构成。
  (2)退火处理后,薄膜中初始生成的六方相BaTi03转变为四方相,随热处理温度的升高和保温时间的延长,更多的六方相BaTi03向四方相转变。但退火过程中非铁电相的出现,影响了薄膜的铁电性能。
  参考文献:
  [1] LAHIRY S,MANSINGH A.Dielectric properties of sol-gel derived barium strontium titanate thin films [J]. Thin Solid Films, 2008, 516 (8):1656-1662.
  [2]FAN Y H,YU S H,SUN
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