日期:2012-07-03 16:10
方相向四方相转变。但高温退火过程中基体Ti与微弧氧化膜反应形成的氧化物层会影响薄膜的铁电性能。
关键词：钛;微弧氧化;钛酸钡;铁电薄膜;退火;物相
中图分类号：TM22; TG174.451 文献标志码：A
文章编号：1004 - 227X (2012) 03 - 0027 - 03
1前言
BaTi03铁电薄膜材料具有优异的性能，在通讯、微电子、光电子等领域有着重要或潜在的应用[1-3]。微弧氧化(Microarc Oxidation，MAO)可直接在有色金属表面原位生长陶瓷膜[4]，该技术具有快速、操作简单、薄膜成分可调等优点[5-6]，自S.V. Gnedenkov等[7]报道将MAO