退火处理对钛酸钡微弧氧化铁电薄膜物相的影响
日期:2012-07-03 16:10
方相向四方相转变。但高温退火过程中基体Ti与微弧氧化膜反应形成的氧化物层会影响薄膜的铁电性能。
  关键词:钛;微弧氧化;钛酸钡;铁电薄膜;退火;物相
  中图分类号:TM22; TG174.451 文献标志码:A
  文章编号:1004 - 227X (2012) 03 - 0027 - 03
  1前言
  BaTi03铁电薄膜材料具有优异的性能,在通讯、微电子、光电子等领域有着重要或潜在的应用[1-3]。微弧氧化(Microarc Oxidation,MAO)可直接在有色金属表面原位生长陶瓷膜[4],该技术具有快速、操作简单、薄膜成分可调等优点[5-6],自S.V. Gnedenkov等[7]报道将MAO
2/16 下一页 上一页 首页 尾页
返回 |  刷新 |  WAP首页 |  网页版  | 登录
07/09 14:59