日期:2012-07-03 16:10
O应用于铁电薄膜的制备以来，便受到各国科学家的重视。姜兆华[8-10]、C.T.Wu[9]、王新华[IO]等分别在Ba(OH)2、Ba(CH3C00)2+ NaOH和Ba(OH)2溶液中采用直流源MAO制得BaTi03薄膜，研究了薄膜性能、成膜机理及工艺参数对薄膜的影响。本课题组也对该法制备的BaTi03薄膜进行了前期研究[11-13]。
MAO制备BaTi03薄膜主要有直流和交流电2种。从理论上讲，交流模式下断续起弧可使弧光均匀分布于表面，且溶液的均匀流动可使表面充分冷却，所得薄膜表面更均匀。但MAO过程中熔融相的温度过高导致沉积的薄膜主要以六方相BaTi03为主，欲获得具有铁电