日期:2012-07-03 16:10
性能的四方相BaTi03薄膜，还需后续热处理[14]。本文采用交流电MAO制备BaTi03薄膜，通过退火获得四方相BaTi03薄膜，研究了退火温度对物相的影响。
2实验
2.1 BaTi03薄膜的制备
从工业Ti板(99.5%)上切取基体试样，表面用800#砂纸磨光后用V(HF)：V (HN03)=1：3的混合液清洗以除去表面氧化膜，再依次在丙酮和蒸馏水中清洗，最后吹干备用。采用广州精源电子设备公司的42 kW交流专用MAO电源，不锈钢板接阴极，Ti板(裸露面积为22 mm20 mm)接阳极。制备BaTi03薄膜的工艺条件为：Ba(OH)2 0.2 mol/L，50 A/dm2，200 Hz，6 min。