日期:2012-07-03 16:10
2.2性能检测
利用荷兰EFI公司的Quanta 200型扫描电子显微镜(SEM)观察薄膜的表面形貌;利用PHYNIX公司的涡流测厚仪测量薄膜的厚度：利用飞利浦公司的X'PertMPD Pro型X射线衍射仪(XRD)及其配套的物相鉴定软件对薄膜作物相分析，XRD图谱与标准的物相卡片(PDF)进行匹配，从而确定其物相组成;利用上海实焰电炉厂的80-3-10型坩埚电阻炉对薄膜进行退火处理;利用美国Radiant Technologies公司的标准铁电性能测试仪测量薄膜的铁电性能。
3结果与讨论
3.1未退火薄膜的表面形貌和物相
3.1.1 表面形貌
未退火薄膜不同