日期:2012-07-03 16:10
部位的表面形貌如图l所示。薄膜边缘和中心部位的表面均凹凸不平，分布有大量直径为几百纳米到几微米的孔洞。孔洞的大小取决于弧光的大小，由于弧光在反应区分布不均，因此弧光移动留下的孔洞尺寸大小不一、分布也不均匀。
3.1.2 物相结构
图2为未退火薄膜的X射线衍射图。
薄膜主要由六方相BaTi03组成，另外还有少量BaC03存在。可能因为溶液中部分Ba(OH)2与空气中的C02反应生成BaC03，并在微弧氧化过程中以电泳的形式进入薄膜。
3.2不同退火温度下薄膜的物相分析
图3为对薄膜在不同温度下退火处理1 h后的