退火处理对钛酸钡微弧氧化铁电薄膜物相的影响
日期:2012-07-03 16:10
XRD图。


  随退火温度的升高,XRD图谱中非晶相的馒头峰强度下降,说明薄膜的非晶体逐渐晶化、含量减少。退火温度为600 ℃时,衍射图谱的背底变得平坦,只存在BaTi03衍射峰,说明薄膜己完全由非晶相转变成BaTi03晶体。标准XRD图谱中,四方相BaTi03在43~ 47之间有2个衍射峰:44.9处峰位对应(002),45.40处峰位对应(200) [15]。经600 ℃退火后,薄膜的(002)和(200)晶面对应的衍射峰基本未分裂,说明此时薄膜中的相仍以六方相BaTi03为主。800 ℃时,薄膜中开始出现BaO(Ti02)2相,且随退火温度的升景BaO(Ti02)2相的相对衍射峰增强。
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