日期:2012-07-03 16:10
XRD图。
随退火温度的升高，XRD图谱中非晶相的馒头峰强度下降，说明薄膜的非晶体逐渐晶化、含量减少。退火温度为600 ℃时，衍射图谱的背底变得平坦，只存在BaTi03衍射峰，说明薄膜己完全由非晶相转变成BaTi03晶体。标准XRD图谱中，四方相BaTi03在43～ 47之间有2个衍射峰：44.9处峰位对应(002)，45.40处峰位对应(200) [15]。经600 ℃退火后，薄膜的(002)和(200)晶面对应的衍射峰基本未分裂，说明此时薄膜中的相仍以六方相BaTi03为主。800 ℃时，薄膜中开始出现BaO(Ti02)2相，且随退火温度的升景BaO(Ti02)2相的相对衍射峰增强。