日期:2012-07-03 16:10
1100 ℃时，四方相BaTi03的(002)和(200)晶面对应的衍射峰出现明显的分裂，说明在此温度下退火已开始有四方相BaTi03形成，同时有很强的Ti02相出现，这可能由BaTi03或BaO(Ti02)2相分解而成。另外，虽然只对基体Ti 单面进行微弧氧化制备BaTi03薄膜，但经1100 ℃或以上温度退火后，基体Ti的非沉积表面也出现淡黄色物质。分析图4可知，此淡黄色物质主要由BaTi03和BaO组成，表明BaTi03在退火过程中发生分解和挥发。
为得到物相较纯的四方相BaTi03铁电薄膜，进一步研究了退火温度和保温时间对BaTi03物相转变的影响。为防止BaTi03分解