日期:2012-07-03 16:10
,在退火时采用密闭容器,并在容器底部加入一定量的Ba0,整个退火过程中Ba0不与薄膜表面直接接触。图5为薄膜在不同温度下退火8 h后的XRD图。
退火温度为1200 ℃时,在约45处有明显的衍射峰分裂,说明有大量六方相BaTi03转变成四方相。另外,经1200 ℃退火后,薄膜的厚度(85~95 m)明显比退火前的厚度(40~50m)大。将薄膜表面的黄白色物质刮掉,对剩余部分进行XRD分析,结果见图
。
底层膜中不仅有BaTi03相,还有BaO(Ti02)2相。虽然受x射线探测距离的限制,与基体接触的膜层物质未被检测到。但从退火后膜厚增大和BaO(