日期:2012-07-03 16:10
，在退火时采用密闭容器，并在容器底部加入一定量的Ba0，整个退火过程中Ba0不与薄膜表面直接接触。图5为薄膜在不同温度下退火8 h后的XRD图。
退火温度为1200 ℃时，在约45处有明显的衍射峰分裂，说明有大量六方相BaTi03转变成四方相。另外，经1200 ℃退火后，薄膜的厚度(85～95 m)明显比退火前的厚度(40～50m)大。将薄膜表面的黄白色物质刮掉，对剩余部分进行XRD分析，结果见图
。
底层膜中不仅有BaTi03相，还有BaO(Ti02)2相。虽然受x射线探测距离的限制，与基体接触的膜层物质未被检测到。但从退火后膜厚增大和BaO(