日期:2012-07-04 11:20
i-Fe合金电镀工艺，所得Ni-Fe合金镀层内应力低、磁性稳定，在电脑硬盘磁头制造行业具有广泛的应用价值。
1 Ni-Fe合金电镀
1.1电镀材料及试剂
1)阳极材料。阳极为Ni板，质量分数为99.99%。尺寸为400mm250mm10mm。使用前要用10%的HCl溶液浸泡一小时，并用去离子水冲洗干净。
2)化学试剂。电镀中所用化学试剂均为电子级或分析纯级。
3)晶片及设备。晶片:质量分数为99.9999%，d为150 mm的硅片，厚度为625 nm(Shin-EtsuChemical Co.，Japan);种子层沉积设备:MRC TargetSputtering Deposition System(型号903M，Mate