日期:2012-07-04 11:20
rialsResearch Corp.，USA);Ni-Fe合金电镀设备:TOMCOCopper Plating Equipment(TOMCO Mfg.Ltd.，Ja-pan);镀Ni-Fe合金溶液V为450 L，晶片的装载量为最多12片/批，同时在4个槽中进行电镀。磁致伸缩测量设备:Automated Magnetostriction Tester(型号:LAMBDA08，LAFOUDA Solutions，USA);粗糙度测量设备:原子力显微镜(型号:Dimension 3100，Digital Instruments，USA);内应力测量设备:TencorP2 Profiler(KLA-Tencor Co.，USA)。
1.2 Ni-Fe合金镀层的电镀要求
Ni-Fe合金镀层的电镀要求见表1。
1.3电镀Ni-Fe合金的工艺流