日期:2012-07-04 16:49
PEO诊断中的应用受到一定限制。OES在气相等离子体诊断研究中的应用最为广泛，但对于液相的等离子体诊断还不够成熟。
3.2.2 声发射技术
等离子体放电过程的能量转化为机械能时，可通过弹性波传播并被声接收系统接收，用声发射技术可监测到PEO的许多微观变化，如相变、气体鞘层破裂等[26]。声发射系统主要由传感器、前置放大器、声波读取装置组成。但如何消除PEO的电声噪音干扰是该技术亟待解决的问题。
目前尚无单一的方法可作万能的等离子体诊断，但各种互补技术可提供不同工艺等离子体的详细信息。实时的信息常用于指导PE