日期:2012-07-04 16:49
中，解决了许多其他方法无法解决的关键技术问题; PEO在国内的纺织、航空等行业[8-9]也有一些尝试性的应用。因此，PEO已成为目前国际、国内材料表面工程技术领域的研究热点之一[4-10]。PEO技术的机理研究对于该技术的节能降耗及工业化应用有重要的指导作用[11-18】，而PEO过程的等离子体诊断在为其机理研究提供直接或间接的证据方面则起着重要的作用。本文对PEO过程机理、诊断技术及PEO陶瓷膜的性能与应用进行了综述，分析了PEO技术的难点和今后努力的方向。
2 PEO过程概述
PEO的基本工艺过程为：将待处理的材料浸入特定的电解液