日期:2012-07-04 16:49
能降耗和大规模工业化应用具有指导意义。因此，有关PEO技术的机理研究还有待深入，今后可朝以下方向努力：
(1)展开有关PEO等离子体作用机理及成膜的热力学和动力学规律的试验和理论研究，在此基础上优化工艺参数以提高设备产能和能量利用率。
(2) PEO的等离子体检测手段较少，且检测获得的等离子体信息有限，方法还有待完善。如有关等离子体成分的定量检测和PEO等离子体带电粒子密度、电子平均动能的检测等还未见报道。这些内容的涉猎，有利于对PEO膜层的晶相及元素分布机制的深入研究。