日期:2012-07-20 16:34
率的影响
表1为活化时间对镀层沉积速率的影响。由表1可知：当活化时间由1 min增加到15 min时，沉积速率变化不大。
2.2活化时间对镀层表面形貌的影响
图1为活化时间对镀层表面形貌的影响。由图1可知：当活化时间为1 min时，镀层表面胞状物大小差异较大，部分位置处胞状物聚集且出现气泡，镀层表面质量相对较差;当活化时间为5 min时，胞状物变得细小，分布趋于均匀，缺陷数量明显减少，此时镀层质量最佳;当活化时间增加到10～15 min时，胞状物又明显增大，均匀性较差，缺陷数量又明显增多，镀层表面质量下降。其原