日期:2012-07-23 15:51
公开日 20100114
发明人 YAO H-R, LIN G-Y, YIN J, WU H-P, NEISSER M, DAMMEL R R
申请人 AZ Electronic Materials USA Corp.
描述了一种抗反射涂料组成物，其成分中包括不含芳香族发色基团的新型聚合物(适用作高数值孔径光刻中的抗反射涂层材料)。聚合物骨架及其不含芳香族发色基团的特质，决定了该材料具有超高蚀刻速率。该涂料组成物中的其余成分为产酸剂，也可含有交联剂。上述聚合物具有2种结构单元：一是从氨基塑料衍生而来的结构单元;二是从二元醇、三元醇、二硫醇、三硫醇、其他多元醇，二元酸、三元酸、其他