抗反射涂料组成物
日期:2012-07-23 15:51
多元酸，二酰亚胺、二酰胺、酰亚胺酰胺，或其混合物衍生而来的结构单元，其中二元醇、二硫醇、三元醇、三硫醇、二元酸、三元酸、二酰亚胺、二酰胺、酰亚胺酰胺可含有1个或多个氮原子及/或硫原子，又或含有1个或多个烯烃基团，以便当用于集成电路制造时，增强在某波长下的吸光系数，以及在用于抗反射材料时，获得高的折射率。

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