日期:2012-07-25 17:40
的耐磨损性比直流镀层有较大提高，尤其梯形波脉冲镀层的耐磨性能最好，镀态和经过热处理的镀层晶粒均为纳米晶。侯丛福等人[5]也作了脉冲镀层与直流镀层的性能比较，认为脉冲镀Ni层结晶细密、孔隙率低、内应力低和硬度提高主要是存在(200)晶面择优取向的结果。
徐赛生等人[6]比较了直流和脉冲两种电镀条件下Cu互连线的性能以及电阻率、织构系数、晶粒大小和表面粗糙度的变化。实验结果表明，在相同电流密度条件下，脉冲电镀所得Cu镀层电阻率较低，表面粗糙度较小，表面晶粒尺寸和晶粒密度较大，而直流电镀所得镀层(111)晶面的择优程度优于