日期:2012-08-10 14:37
除基片表面吸附的气体和水分，并可使某些污染物分解排除。
真空蒸镀装置系由真空室和真空系统、蒸发源或蒸发加热装置、基片架及其加热装置、膜厚监控装置等组成。图9.1是真空蒸发镀膜机的示意图。真空室常采用装在金属底盘上的钟罩构成，并有机械或液压操纵的提升机构;真空系统用来获得必要的真空度，它由(超)高真空泵、低真空泵、排气管道和阀门等组成，此外还附有冷阱和真空测量计等;蒸发源是用来加热膜料使之气化蒸发的部件;基片架的作用是夹持基片，为保证镀膜的均匀性，基片架有圆顶静止型、平板旋转型和有自、公转的行星式转动型等