真空蒸镀
日期:2012-08-10 14:37
几种;膜厚监控装置用来对薄膜厚度进行监控，以达到必要的膜厚。


图9.1真空镀膜机示意图
1一机械泵2一机械泵放气阀3一低真空阀4一预抽阀5热偶真空规6一高真空阀7一扩散泵一电离真空规9一真空室放气阀 l0一真空室 一蒸发源 l2一基片夹具
根据蒸发加热的方式，真空蒸镀分为电阻加热蒸发镀、感应加热蒸发镀、电子束加热蒸发镀、激光加热蒸发镀和电弧加热蒸发镀等方法。

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