高频感应加热蒸镀
日期:2012-08-10 14:41
料上，坩埚温度较低，坩埚材料对膜层污染较少。但需对高频电磁场进行屏蔽，以防对外界的干扰。而且如果蒸发材料是非导电介质，则需采用导电的材料制作坩埚来进行间接加热。
高频感应加热蒸镀可用来制备Al、Be、Ti等膜，用于钢带连续真空镀灿等。

07/13 13:08