日期:2012-08-10 14:45
激光蒸镀是利用激光束作为热源加热蒸镀的一种较新薄膜制备方法。用于激光蒸发的光源可为C02激光、如激光、钕玻璃激光、红宝石激光、YAG激光以及准分子激光等。目前通常采用的是在空间和时间上能量高度集中的脉冲激光，以准分子激光效果最好。
图9-5激光蒸发实验装置原理
1～玻璃衰减器2一透镜3一光圈4一光电池5分光器6一透镜卜基片＆一探头9一靶10一真空室ll一xecl激光器
图9-5为Xecl激光蒸镀示意图。激光器置于真空室之外，高能量的激光束透过窗口进入真空室中，经透镜聚焦之后照射到靶材上，使之加热气化蒸发并沉积在基片上。
激光