激光蒸镀
日期:2012-08-10 14:45
加热法的特点是非接触式加热，避免了坩埚污染，宜制作高纯膜层;能量密度高，可蒸发任何能吸收激光光能的高熔点材料，且由于蒸发速度极高，制得的合金、化合物薄膜组成几乎与原蒸发材料相同;易于控制，效率高，不会引起靶材带电。但激光蒸发过程中有颗粒喷溅，设备成本较贵，大面积沉积尚有困难。
激光蒸镀可制备各种金属和高熔点材料，以及半导体、陶瓷等各种无机材料。

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