日期:2012-08-10 15:23
O_3/SrTiO_3三种多层膜，研究发现周期厚度明显影响多层膜的介电性质，通过改变周期厚度，在三种多层膜中均发现了介电常数增强的现象。在BaTiO_3/Ba_(0.6)Sr_(0.4)TiO_3多层膜中，当周期厚度为60nm时，介电常数高达1336，介电损耗仅为0.04。在BaTiO_3/Ba_(0.2)Sr_(0.8)TiO_多层膜中，当周期厚度为80nm时，介电常数为890，介电损耗为0.04。在BaTiO_3/SrTiO_3多层膜中，当周期厚度为60nm时，介电常数为721，介电损耗仅为0.0334。研究同时表明，在硅基多晶的多层膜中，不同介质材料的接触处存在明显的界面层，正是这一特殊的界面层导致了介电常