日期:2012-08-10 15:23
，模拟曲线与实验结果相吻 (3)薄膜厚度对钦酸银钡多层膜的影响 利用脉冲激光沉积法在P灯Tl/5102/Si衬底上，沉积了不同总厚度的多晶 BaTIO3忍aoZsro.STio3多层膜，研究了周期厚度、界面数对薄膜介电性质的影响。
研究表明，在相同界面数的情况下，厚度对薄膜的介电性质影响较大。在薄膜厚度为240nm 时，多层膜的介电常数为810，介电损耗为0.036。同样，在保持周期厚度相同的前 提下，薄膜厚度对介电性质也产生较大的影响。在薄膜厚度为32Onln时，多层膜的 介电常数为913，而介电损耗仍然保持在较低的水平，仅为0.036。分析表明，实验