日期:2012-08-10 15:29
摘要：金属硒化物薄膜是一类非常重要的半导体材料,在太阳电池等领域具有广泛的应用前景,已引起学术和产业界的高度重视。金属硒化物薄膜的有效沉积是其得到应用的基础。在各种沉积方法中,电沉积法具有非真空、低成本和高沉积速率等特点,适合大面积和连续化制备多组元和性能可控的高性能薄膜。
本文研究金属硒化物薄膜的电沉积制备工艺及基础理论。首先通过电势-pH图的绘制和分析,揭示金属硒化物电沉积的热力学基本特征;然后针对金属硒化物电沉积时Se优先沉积的特点,采用循环伏安法(CV)和计时安培法(CA)等研究Se电沉积的电化学行为;在此基础