日期:2012-08-15 14:50
之间的结合，而对于塑料基片的反溅射，还可使其表面活化。表征溅射特征的主要参数有溅射阀值、溅射率、溅射粒子的速度和能量等，而溅射过程中影响薄膜性能的主要工艺参数有基片温度、气体压力和靶电压与电流。此外，还有基片上的负偏压、源与基片间距、气体成分和流量、溅射粒子的入射角、靶的温度和磁感应强度及其分布等。相对于真空蒸镀，溅射镀膜具有以下特点：溅射出来的粒子能量为几十电子伏特，比蒸镀粒子能量大，故膜基结合力较好，致密性好;可实现大面积靶材的溅射沉积，而且溅射粒子在飞行过程中会不断发生碰撞，故可在大面积基片