多源蒸镀
日期:2012-08-15 14:50
电形式则分为直流溅射、中频溅射、射频溅射、偏压溅射等;而以工作气氛则分为惰性气体溅射、反应溅射、吸附溅射等。
目前溅射镀膜主要适用于制备金属或合金薄膜，各种光电膜、磁学膜、传感器功能膜、透明导电膜、太阳能吸收膜，以及工模具上的硬质膜和形形色色的装饰膜。

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