日期:2012-08-15 15:07
对绝缘材料若采用直流二极溅射，正离子轰击靶电荷不能带走，造成正电荷积累，靶面正电位不断上升，最后导致正离子不能到达靶面进行溅射。
图9-10四极溅射原理图
1～聚柬线圈2一靶阴极卜等离子体4一基板5一电子收集极6一收集极电源7一灯丝(热阴极)8--稳定电极卜9-灯丝电源
射频溅射是在两极间施加频率为l3.56MHz的电压，利用电子在被阳极收集之前能在阳、阴极之间的空间来回振荡，有更多机会与气体分子产生碰撞电离，使射频溅射可在低气压(1～lOPa)下进行。在射频电场作用下，在电压的正半周时在靶材和基片之间的射频等离子体中的电