对向靶溅射
日期:2012-08-16 15:23
13对靶磁控溅射系统示意图a)对向靶位形b)溅射系统c)复合靶1、6一靶2、7、l4一基片3一铁柱4一接地S一励磁线圈＆一接真空
9一直流高压源l0一入气口llNi盘12一Fe盘13一M0片

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