三极型离子镀
日期:2012-08-16 15:31
度可提高10～20倍。
三极型离子镀也称为热电子增强型离子镀，实际上属于弧光放电产生等离子体。其特点是：①依靠热阴极灯丝电流和阳极电压的变化，可以独立控制放电条件，从而可有效地控制膜层的晶体结构、硬度等性能;②主阴极(基片)所加维持辉光放电的电压较低，减少了能量过高的离子对基片的轰击作用，使基片温升得到控制;③工作气压可在0.133Pa，低于二极型离子镀，镀层光泽而致密。

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