多阴极离子镀
日期:2012-08-16 15:35
维持不变的放电电压，使轰击基板的粒子能量不致太高而造成大量缺陷和过高温升。此外，多个阴极配置在基体周围，扩大了阴极区，改善了绕射性。

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