多弧离子镀的起源与其原理和种类
日期:2012-08-24 15:28
轰击镀层表面，致使膜层质量得到改善。
离子镀种类很多，蒸发源加热方式有电阻加热、电子束加热、等离子电子束加热、高频感应加热等
然而多弧离子镀与一般的离子镀有着很大的区别。多弧离子镀采用的是弧光放电，而并不是传统离子镀的辉光放电进行沉积。简单的说，多弧离子镀的原理就是把阴极靶作为蒸发源，通过靶与阳极壳体之间的弧光放电，使靶材蒸发，从而在空间中形成等离子体，对基体进行沉积。

07/14 12:47