物理气相沉积TiN薄膜技术条件
日期:2012-09-03 15:26

英文名称: Specifications of physical vapour deposition TiN films
中标分类: 综合基础标准A29材料防护
ICS分类: 机械制造表面处理和涂覆25.220.20表面处理
发布部门: 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
发布日期: 2002-03-10
实施日期: 2002-08-01
首发日期: 2002-03-10
复审日期: 2004-10-14
提出单位: 中国机械工业联合会
归口单位: 全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会
主管部门: 中国机械工业联合会
起草单位: 武汉材料保护研究所
起草人: 凌国伟、李健、倪瀚、黄济群
页数: 平装16开, 页
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