基片保持装置和电镀设备
日期:2012-09-25 15:52

公开号 101281858
公开日 20081008
申请人 株式会社荏原制作所
地址 日本东京
提供了一种基片保持装置，其包括：一个固定保持元件和一个可移动保持元件，它们用于将一个基片保持在它们之间;一个内侧密封元件，其用于与所述基片的周部压力接触，以密封住所述周部;以及一个外侧密封元件，其围绕着所述基片布置，用于将所述可移动保持元件和所述固定保持元件之间密封。还提供了一种包括此基片保持装置的电镀设备。

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