日期:2012-10-11 15:01
种在半导体晶圆上电镀导电材质的方法，当晶圆浸泡在电镀液时，藉由减小电镀制程的电流值，以避免形成的电镀导电材质产生缺陷。进一步地，当晶圆浸泡在电镀液之前，在晶圆上施加一静电荷，藉以提升用来控沉积速率的加速剂的吸收性，以改善电镀介层窗所产生的缺陷。并且利用设置于电镀液外部的电极将静电荷施加于晶圆上。
主权项
1、一种在半导体晶圆上电镀一导电材质的方法，其特征在于其至少包括以下步骤：步骤(A)：将一晶圆浸泡在一电镀液中;步骤(B)：施加一电压于该晶圆上;步骤(C)：对该电镀液与该晶圆通以一电流;以及步骤(D)：限定步