日期:2012-10-16 14:21
标准编号：SJ/T 11131-1997标准简介
本标准规定了蒸发镀膜设备基本参数系列。
本标准适用于极限压力为3 x 10-3P二一5 x ]0-6P:范围内的钟罩式和箱式蒸发镀膜设备。
英文名称： Basic parameter series of evaporation plating equipment
替代情况： SJ 1098-77 SJ 1099-77
中标分类： 医药、卫生、劳动保护医药、卫生、劳动保护综合C01技术管理
ICS分类： 电子学31.020电子元件综合
发布部门： 中华人民共和国电子工业部
发布日期： 1997-09-03
实施日期： 1998-01-01
归口单位： 电子工业部标准化研究所
起草单位： 成都南光