基板处理单元、基板传送方法、基板洗净处理单元以及基板电镀设备
日期:2012-10-16 14:29
外周上的辊，而所述的多个辊适于通过从所述基板的侧部将所述基板的周边支承在所述保持位置的附近而支承所述基板，所述的辊具有一体的结构，所述一体的结构包括大直径部分以及形成在所述大直径部分上方的小直径部分，而大直径部分的上侧部分具有肩部，以便所述基板在传送中临时地支承在其上，并且所述肩部形成有朝向其外周、向下倾斜的倾斜表面。

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