用于监控电镀槽液的 CVS 技术
日期:2012-10-23 09:42
金电极上的正电位可以帮原先已附着在电极上的有机物脱离并且清洁电极。这个清洁区段对 CVS 分析仪测量的精确性和重复性是很重要的。这个区段也可以用来侦侧酸性铜镀液中的有机污染物和氯离子的浓度。
(4)吸收区段
由点 5 至点 6。在这个区段有机添加剂重新附着到铂金电极的表面,这对 CVS 的敏感度是很重要的。
图 2 列举数种有机添加物对电镀速度(由 y 轴上的 Peak Area,即 AR 值所表示)的影响。基本上,抑制剂会减缓电镀的速度,而光亮剂会增加电镀的速度。需要注意的是,工业界对抑制剂(suppressor,carrier, wetter, hellip)
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