日期:2012-10-25 09:55
公开号 101182642
公开日 20080521
申请人 长春理工大学
地址 吉林省长春市朝阳区卫星路7186号
AuSn合金焊料属于半导体光电子和微电子技术领域。该领域已知技术需要昂贵的真空镀膜设备，耗费大量的贵金属，生产成本很高;完全利用电镀的方法存在电镀液难以配备且容易失效，沉积的金属复合层厚度和均匀性难以控制，烧结时合金焊料存在多孔。本发明之电镀厚Au层结合真空镀膜技术制备AuSn合金焊料的方法，采用电镀厚金层结合磁控溅射金属导引层和热蒸发锡层来制备多层金属复合层，大大降低了焊料制作的成本，减少了不必要的耗费，且设备