日期:2012-11-05 10:46
和检测。这因为化学沉铜溶液在生产过程中溶液的各种成份会有很大的变化，除了实现自动控制系统的作用外，还应采取定期定时的抽查分析溶液中各种成份的含量是否符合工艺规范要求，以确保溶液正常工作。根据化学沉铜机理主要控制其沉积速率及沉积层的密实性。化学沉铜的沉积效果检测的主要项目是沉积速率和背光试验来进行。
(1)沉铜速率的控制和检测
根据化学沉铜的反应化学原理，对化学沉铜速率的主要影响因素有二价铜离子浓度、甲醛浓度、PH值、添加剂、温度和溶液搅拌等。所以，每当溶液工作一段时间(时间的长短由溶液的负载量来决定)，