日立化成工业确立了金使用量较少的铜引线键合电镀技术
日期:2012-11-09 14:56

日立化成工业面向半导体芯片与封装基板连接的铜(Cu)引线键合方式,确立了使用少量金(Au)即可完成的无电解电镀技术。今后,将提供采用该技术的封装基板和电镀药品。
此前,引线键合材料采用电阻较低而且加工性和连接可靠性出色的Au。不过,近年来Au价格暴涨,因此业界开始采用低价的Cu代替Au。
Cu引线键合一般采用对镍(Ni)层和Au层进行电解电镀的现有方式(电解电镀Ni/Au)。该方式也应用于Au引线键合中。不过,电解电镀Ni/Au在基板的高密度化和低成本化方面还有问题。
因此,日立化成工业采用的是非电解电镀Ni/钯(Pd)/Au。在Ni层和Au层之
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