日期:2012-11-12 09:27
申请(专利)号:CN200780036704.2 申请日:2007.10.02
公开(公告)号:CN101522938 公开(公告)日:2009.09.02
主分类号:C23C8/42(2006.01)I
分类号:C23C8/42(2006.01)I
优先权:2006.10.2 JP 271115/2006
申请(专利权)人:株式会社爱发科;日本爱发科泰克能株式会社
地址:日本神奈川县
国省代码:日本;JP
发明(设计)人:三泽俊司;稻吉荣;佐藤洋志
国际申请:2007-10-02 PCT/JP2007/069285
国际公布:2008-04-10 WO2008/041701 日
进入国家日期:2009.03.31
专利代理机构:北京德琦知识产权代理有限公司
代理人:徐江华;王珍仙
摘要:
本发