日期:2012-11-15 10:52
子在阴极和阳极之间的电场作用下，通过靶面出气缝隙向外加速飞出，形成大范围分布均匀的离子束流。
工作气体直接通入靶体，由出气缝隙进行均匀布气和离化。该源采用内装结构，靶体和阳极分别水冷，下端内法兰密封，所有冷却水、进气口和电极接头都在端法兰上，安装方便( Fig.3 )。
该离子源独立工作时，一般电压在 550-750V 之间，主要受离子源进气量和环境真空度的影响。进气量越大，真空度越低，放电电压也相应降低。放电电流可以随意平滑调节。最大电流随着离子源线性长度相应增大。对于缝隙长度为 560mm 的矩形气体离子源，在丹普