日期:2012-11-15 10:52
离子源采用脉冲直流电源驱动后，给整个镀膜系统带来了如下更多的好处：
由于周期脉冲带来的等离子体震荡，气体离子源启动阈值电压降低，工作电压也相应降低( 50-100v )。有利于提高放电稳定性，提高工作电流，避免工件膜层的边缘效应问题。
由于周期性地关断电压，气体离子源和工件表面上的电弧放电都被更加有效地抑制，彻底避免气体离子源上电弧打火造成的金属溅射问题，也避免被镀工件表面遭电弧打火损坏。同时，避免了电弧打火引起电源灭弧动作，使得真空室内工作状况瞬间改变而造成的真空镀膜过程的不稳定。
周期脉冲产生的等