日期:2012-11-15 10:52
应该能够适用。在镀制工具镀硬质薄膜和其他功能薄膜方面，有待进一步的研究和开发工作。
由于气体离子源具有方向性，它的作用范围和磁控溅射源相似。在作用区域内，气体离子的等离子体密度高，气体离子轰击清洗和化学反应活性高。因此还可应用到以下几个方面：
当气体离子源通入惰性气体(如氩气)时，可以对工件表面进行高强度的气体离子轰击清洗。该过程可比普通氩离子溅射轰击的能量密度大很多，气体离子源工作电流可以达到 10A 以上，而且集中在一个局部的作用区域。与阴极电弧离子轰击相比，不存在金属粒子沾粘工件表面的问题，