日期:2012-11-19 10:52
的自动化控制包括：①机械泵、扩散泵、真空计、水泵的启停控制;②各真空计的高、低真空值输出控制;③各真空阀门、翻板阀的开闭控制。
整套设备采用循环水处理冷却，所以系统在没有接收到水压指示前不能开启真空机组。翻板阀用来实现大气与低真空室以及低真空室与高真空室之间的隔离;真空阀门用来控制真空抽气通路的通断。系统通过控制气动装置来实现对阀门的打开与关闭。
3.2离子轰击过程的自动化控制设计
对于某些机型(如亚克力镀膜生产线)，为了提高薄膜的附着力，本系统采用了高能离子轰击作为镀前处理工艺。在轰击清洗过程中，控制